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GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术　硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

GB/T 42896-2023 Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 42896-2023
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L59 微机电系统(MEMS)技术　硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2023-08-06
实施日期
2023-12-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术　硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术　硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术　硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
GB/T 42896-2023 微机电系统(MEMS)技术　硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
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研制信息

起草单位：
北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、宁波芯健半导体有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、广州奥松电子股份有限公司
起草人：
张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、王旭峰、李凤阳、高程武、于志恒、陈艺、华璇卿、刘若冰、张彦秀、罗书明、武斌、张启心、张宾
出版信息：
页数：16页 | 字数：15 千字 | 开本： 大16开

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