关闭预览GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
GB/T 4298-1984 The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
国家标准
中文简体
废止
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 4298-1984
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标准类型
国家标准
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
H17 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
国际标准分类号（ICS）
29.040.30
发布日期
1984-03-28
实施日期
1985-03-01
发布单位/组织
国家标准局
归口单位
适用范围
-
发布历史
-
1985-03
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研制信息
- 起草单位：
- 有色金属研究总院、中国科学院原子核研究所
- 起草人：
- 周云鹿、章家鼎
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：35 千字 | 开本： 大16开
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