齐齐文库
登录
齐齐文库
下载此文档
关闭预览
  1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 中国国家标准 >
  4. GB/T 42897-2023

GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术　 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

GB/T 42897-2023 Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 42897-2023
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L59 微机电系统(MEMS)技术　 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2023-08-06
实施日期
2023-12-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-

发布历史

文前页预览

GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术　 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术　 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术　 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术　 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
免费预览已结束，剩余部分可下载查看

研制信息

起草单位：
北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、厦门市智慧健康研究院有限公司、宁波瑞成包装材料有限公司、四川富生电器有限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、无锡韦感半导体有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司
起草人：
张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、李凤阳、王旭峰、高程武、陈艺、于志恒、华璇卿、刘若冰、张彦秀、王清娜、邵峥、李强、宏宇、赵成龙、张宾、李海全
出版信息：
页数：16页 | 字数：13 千字 | 开本： 大16开

推荐标准

相似标准推荐

更多>