关闭预览GB/T 26066-2010 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
GB/T 26066-2010 Practice for shallow etch pit detection on silicon
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 26066-2010
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2011-10
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 洛阳单晶硅有限责任公司
- 起草人：
- 田素霞、张静雯、王文卫、周涛
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 21866-2008 抗菌涂料(漆膜)抗菌性测定法和抗菌效果 2008-05-14
- GB 8371-1987 水稻种子产地检疫规程 1987-12-09
- YY/T 1286.2-2016 血小板贮存袋性能 第2部分：血小板贮存性能评价指南 2016-01-26
- LY/T 2957-2018 南方集体林区天然次生林近自然森林经营技术规程 2018-02-27
- GB 17378.6-2007 海洋监测规范 第6部分：生物体分析 2007-10-18
- GB 7355-1987 大气中铅及其无机化合物的卫生标准 1987-02-16
- JB/T 20084-2017 热泵外加热式双效浓缩器 2017-04-12
- GB/T 39004-2020 工业机器人电磁兼容设计规范 2020-09-29
- GB/T 39704-2020 真空绝热板有效导热系数的测定 2020-12-14
- GB/T 15223-2008 塑料 液体树脂用比重瓶法测定密度 2008-09-04
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 29603-2024 食品容器用镀锡或镀铬薄钢板全开式易开盖质量通则
- 2 GB/T 14999.7-2010 高温合金铸件晶粒度、一次枝晶间距和显微疏松测定方法
- 3 GB/T 18280.3-2015 医疗保健产品灭菌 辐射 第3部分：剂量测量指南
- 4 GB/T 26433-2010 粮油加工环境要求
- 5 YS/T 751-2011 钽及钽合金牌号和化学成分
- 6 GA/T 2039-2023 法庭科学 疑似毒品中曲马多检验 液相色谱和液相色谱-质谱法
- 7 GB/T 11147-2010 沥青取样法
- 8 GB/T 15663.1-2025 煤矿科技术语 第1部分：煤炭地质与勘查
- 9 JJG 702-2005 船舶液货计量舱容量
- 10 GB/T 40786.2-2021 信息技术 系统间远程通信和信息交换 低压电力线通信 第2部分：数据链路层规范
