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GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试　非接触微波反射光电导衰减法

GB/T 26068-2018 Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method

国家标准 中文简体 现行 页数：32页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 26068-2018
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试　非接触微波反射光电导衰减法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-11-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试　非接触微波反射光电导衰减法
GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试　非接触微波反射光电导衰减法
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研制信息

起草单位：
有研半导体材料有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、广州市昆德科技有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司
起草人：
曹孜、孙燕、黄黎、赵而敬、徐红骞、高英、石宇、楼春兰、王昕、张雪囡、林清香、刘卓、肖宗杰
出版信息：
页数：32页 | 字数：56 千字 | 开本： 大16开

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