关闭预览GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
GB/T 26070-2010 Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 26070-2010
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.99
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2011-10
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院半导体研究所
- 起草人：
- 陈涌海、赵有文、提刘旺、王元立
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB 18986-2003 轻型客车结构安全要求 2003-03-06
- CJ/T 498-2016 自动搅匀潜水排污泵 2016-08-08
- GB 7657-2005 食品添加剂 葡萄糖酸-δ-内酯 2005-06-30
- GB/T 42152-2022 废旧办公耗材与配件再制造通用规范 2022-12-30
- GB/T 13290-2014 工业用丙烯和丁二烯液态采样法 2014-07-08
- GB/T 45173-2024 杯壶类产品分类及术语 2024-12-31
- TD/T 1032-2011 基本农田划定技术规程 2011-06-02
- YY/T 1675-2019 血清电解质(钾、钠、钙、镁)参考测量程序(离子色谱法) 2019-10-23
- GB/T 13794-1992 实验室用标准测温锥 1992-11-16
- GB/Z 34541-2017 氢能车辆加氢设施安全运行管理规程 2017-10-14
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 8081-2008 天然生胶 技术分级橡胶(TSR)规格导则
- 2 YC/T 16.2-2002 再造烟叶 第2部分：稠浆法
- 3 GB/T 31451-2015 航空器救援设备 起落架挂具
- 4 GB/T 11822-2008 科学技术档案案卷构成的一般要求
- 5 LY/T 1611-2023 地板基材用纤维板
- 6 SB/T 10460-2008 商用电开水器
- 7 GB/T 31911-2015 燃气燃烧器具排放物测定方法
- 8 GB/T 31529-2015 数字印刷材料 计算机直接制版(CTP)版材 感光层单位面积质量的测定
- 9 GB/T 22351.1-2008 识别卡 无触点的集成电路卡 邻近式卡 第1部分：物理特性
- 10 JJG 184-2012 液化气体铁路罐车容积
