关闭预览GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
GB/T 26070-2010 Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 26070-2010
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.99
发布日期
2011-01-10
实施日期
2011-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2011-10
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院半导体研究所
- 起草人：
- 陈涌海、赵有文、提刘旺、王元立
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：21 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB 5009.137-2025 食品安全国家标准 食品中锑的测定 2025-03-16
- GB/T 34425-2017 燃料电池电动汽车 加氢枪 2017-10-14
- GB/T 6901.11-2004 硅质耐火材料化学分析方法 第11部分：钼蓝光度法测定五氧化二磷量 2004-01-19
- JJG 795-2004 耐电压测试仪 2004-03-02
- GB/T 15301-1994 气体激光器总规范 1994-12-07
- YY/T 0616.1-2016 一次性使用医用手套 第1部分：生物学评价要求与试验 2016-01-26
- GB/T 20564.7-2022 汽车用高强度冷连轧钢板及钢带 第7部分：马氏体钢 2022-04-15
- GB/T 14563-2008 高岭土及其试验方法 2008-02-16
- GB/T 41584-2022 压水堆核电厂装料前热态性能试验要求 2022-07-11
- GB 46769-2025 涂料生产企业安全技术规范 2025-10-31
相似标准推荐
更多>- 1 LY/T 3095-2019 大棚冬枣养护管理技术规程
- 2 GB/T 39388-2020 照度计和亮度计的性能表征方法
- 3 GB/T 18391.4-2009 信息技术 元数据注册系统(MDR) 第4部分：数据定义的形成
- 4 GB/T 21241-2007 卫生洁具清洗剂
- 5 GB/T 32764-2016 边鸡
- 6 GB/T 32359-2015 海水淡化反渗透膜装置测试评价方法
- 7 GB/T 45866-2025 土方机械 机器控制系统分层式软件架构 通用要求
- 8 GB/T 26548.12-2021 手持便携式动力工具 振动试验方法 第12部分：模具砂轮机
- 9 GB 28644.1-2012 危险货物例外数量及包装要求
- 10 GB/T 37599-2019 石油天然气输送管用抗酸性宽厚钢板
