关闭预览GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
GB/T 24577-2009 Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 24577-2009
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2010-06
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研制信息
- 起草单位：
- 信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 起草人：
- 王奕、褚连青、李静
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
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