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GB/T 24581-2022 硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法

GB/T 24581-2022 Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 24581-2022
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2022-03-09
实施日期
2022-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备与材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 24581-2022 硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 24581-2022 硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 24581-2022 硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法
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研制信息

起草单位：
乐山市产品质量监督检验所、青海芯测科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、新特能源股份有限公司、有研半导体硅材料股份公司、四川永祥股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、宜昌南玻硅材料有限公司、江苏秦烯新材料有限公司、义乌力迈新材料有限公司
起草人：
梁洪、赵晓斌、万涛、薛心禄、魏东亮、王彬、邱艳梅、杨素心、李素青、李朋飞、赵培芝、王永涛、魏强、楚东旭、周延江、刘文明、刘红、何建军、皮坤林
出版信息：
页数：12页 | 字数：20 千字 | 开本： 大16开

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