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GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法　光学投影法

GB/T 14140.1-1993 Silicon slices and wafers—Measuring of diameter—Optical projecting method

国家标准 中文简体 被代替 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 14140.1-1993
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H21 硅片直径测量方法　光学投影法
国际标准分类号（ICS）
77.040.01
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
适用范围
-

发布历史

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GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法　光学投影法
GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法　光学投影法
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研制信息

起草单位：
洛阳单晶硅厂
起草人：
王从赞、夏光勤
出版信息：
页数：8页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开

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