关闭预览GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
GB/T 14141-1993 Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
国家标准
中文简体
被代替
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 14141-1993
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H21 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
国际标准分类号（ICS）
29.040.30
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
适用范围
-
发布历史
-
1993-10
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研制信息
- 起草单位：
- 峨眉半导体材料研究所
- 起草人：
- 张新、郑绪明
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：9 千字 | 开本： 大16开
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