关闭预览GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
GB/T 14146-1993 Silicon epitaxial layers—Determination of carrier concentration—Mercury probe Valtage-capacitance method
国家标准
中文简体
被代替
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 14146-1993
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H21 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
国际标准分类号（ICS）
29.040.30
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
适用范围
-
发布历史
-
1993-10
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研制信息
- 起草单位：
- 上海市有色金属总公司半导体材料厂
- 起草人：
- 王才康、殷妙廷、李泽
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开
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