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GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

GB/T 19921-2018 Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

国家标准 中文简体 现行 页数：32页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 19921-2018
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 硅抛光片表面颗粒测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法
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GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法
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研制信息

起草单位：
有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人：
孙燕、刘卓、冯泉林、徐新华、张海英、骆红、刘义、杨素心、张雪囡
出版信息：
页数：32页 | 字数：50 千字 | 开本： 大16开

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