关闭预览GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T 19921-2005 Test method of particles on silicon wafer surfaces
国家标准
中文简体
被代替
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 19921-2005
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H17 硅抛光片表面颗粒测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.01
发布日期
2005-09-19
实施日期
2006-04-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2006-04
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研制信息
- 起草单位：
- 北京有色金属研究总院
- 起草人：
- 孙燕、卢立延、董慧燕、刘红艳、翟富义
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开
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