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GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法

GB/T 19922-2005 Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning

国家标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 19922-2005
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
H17 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
国际标准分类号(ICS)
77.040.01
发布日期
2005-09-19
实施日期
2006-04-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
-

发布历史

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GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
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研制信息

起草单位:
洛阳单晶硅有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人:
史舸、蒋建国、陈兴邦、贺东江、王文、邓德翼
出版信息:
页数:12页 | 字数:14 千字 | 开本: 大16开

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