关闭预览GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
GB/T 19922-2005 Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 19922-2005
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.040.01
发布日期
2005-09-19
实施日期
2006-04-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
2006-04
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研制信息
- 起草单位：
- 洛阳单晶硅有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
- 起草人：
- 史舸、蒋建国、陈兴邦、贺东江、王文、邓德翼
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
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