关闭预览GB/T 16878-1997 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
GB/T 16878-1997 Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16878-1997
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L97 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
1997-06-20
实施日期
1998-03-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1998-03
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子中心
- 起草人：
- 陈宝钦、陈森锦、廖温初
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
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