关闭预览GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
GB/T 16879-1997 Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16879-1997
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L97 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
国际标准分类号（ICS）
31.020
发布日期
1997-06-20
实施日期
1998-03-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1998-03
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子中心
- 起草人：
- 陈宝钦、陈森锦、廖温初
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：12 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB 18583-2001 室内装饰装修材料 胶粘剂中有害物质限量 2001-12-10
- GB/T 42364-2023 传染性无乳症诊断技术 2023-03-17
- GB/T 9445-2015 无损检测 人员资格鉴定与认证 2015-12-10
- GB 14939-2005 鱼类罐头卫生标准 2005-01-25
- GB/T 13379-1992 视觉工效学原则 室内工作系统照明 1992-02-09
- GA/T 1651-2019 法庭科学 真空镀膜显现手印技术规范 2019-10-14
- GB/T 12967.4-2014 铝及铝合金阳极氧化膜检测方法 第4部分：着色阳极氧化膜 耐紫外光性能的测定 2014-12-05
- GB/T 18007-1999 咖啡及其制品 术语 1999-11-10
- GB 29947-2013 食品安全国家标准 食品添加剂 萜烯树脂 2013-11-29
- GB/T 3521-2008 石墨化学分析方法 2008-08-20
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 43811-2024 絮用纤维制品短纤维含量测试方法
- 2 GB/T 14801-2009 机织物与针织物纬斜和弓纬试验方法
- 3 GB/T 3286.7-2014 石灰石及白云石化学分析方法 第7部分：硫含量的测定 管式炉燃烧-碘酸钾滴定法、高频燃烧红外吸收法和硫酸钡重量法
- 4 GB/T 13170.3-1991 反射式电视测试图 线性测试图B型
- 5 GB/T 1043.2-2018 塑料 简支梁冲击性能的测定 第2部分：仪器化冲击试验
- 6 GB 20371-2016 食品安全国家标准 食品加工用植物蛋白
- 7 GB/T 14410.6-2008 飞行力学 概念、量和符号 第6部分：飞机几何形状
- 8 GA/T 1225-2015 境外来华停(居)留人员管理信息数据项
- 9 GB/T 17351-1998 汽车车轮 双轮中心距
- 10 FZ/T 63002-1993 粘胶长丝绣花线
