关闭预览GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
GB/T 16880-1997 Guidelines for photomask defect classification and size definition
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 16880-1997
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L97 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
国际标准分类号（ICS）
31.020
发布日期
1997-06-20
实施日期
1998-03-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1998-03
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院微电子中心
- 起草人：
- 陈宝钦、陈森锦、廖温初
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：10 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- LY/T 1902-2010 南方红豆杉药用林栽培技术规程 2010-02-09
- GB/T 7377-2008 力车轮胎系列 2008-06-18
- GB/T 38907-2020 节水型企业 多晶硅行业 2020-06-02
- GB/T 17473-2025 电子浆料性能试验方法 导体浆料测试 2025-10-05
- LY/T 3395-2024 植物新品种特异性、一致性、稳定性测试指南 荚蒾属 2024-02-07
- GB/T 29618.309-2013 现场设备工具(FDT)接口规范 第309部分：通信行规集成 可寻址远程传感器高速通道 2013-11-12
- GB/T 21114-2007 耐火材料 X射线荧光光谱化学分析熔铸玻璃片法 2007-09-11
- JJG 1135-2017 热重分析仪 2017-02-28
- GB 19082-2009 医用一次性防护服技术要求 2009-05-06
- GB/T 32724-2016 记录土壤和现场信息的格式 2016-08-29
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 17818-2025 饲料中维生素D3的测定 高效液相色谱法
- 2 GB/T 45404-2025 数据安全技术 大型互联网企业内设个人信息保护监督机构要求
- 3 GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯
- 4 GB/T 15076.11-2020 钽铌化学分析方法 第11部分：铌中砷、锑、铅、锡和铋量的测定 直流电弧原子发射光谱法
- 5 GB/T 17657-1999 人造板及饰面人造板理化性能试验方法
- 6 GB/T 39464-2020 跨境电子商务交易类产品多语种分类与命名 鞋
- 7 GB/T 44853-2024 城市轨道交通车辆 电空制动系统
- 8 GB/T 32419.6-2017 信息技术 SOA技术实现规范 第6部分：身份管理服务
- 9 GB/T 16731-1997 建筑吸声产品的吸声性能分级
- 10 GB/T 11412.1-2009 海船安全开航技术要求 第1部分：一般要求
