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YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材

YS/T 1053-2015 High-purity cobalt sputtering target used in electronic film

行业标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 1053-2015
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H62 电子薄膜用高纯钴靶材
国际标准分类号（ICS）
77.150.70
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-

发布历史

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YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
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研制信息

起草单位：
宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司
起草人：
王学泽、李勇军、郑文翔、罗俊锋、袁海军、熊晓东、陈勇军、刘丹、陆彤、袁洁、张涛
出版信息：
页数：16页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开

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