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YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定　气相色谱法

YS/T 1060-2015 Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method

行业标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 1060-2015
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定　气相色谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040.30
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-

发布历史

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YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定　气相色谱法
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定　气相色谱法
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研制信息

起草单位：
中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
起草人：
刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕
出版信息：
页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

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