关闭预览YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
YS/T 1060-2015 Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
行业标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1060-2015
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040.30
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
2015-10
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研制信息
- 起草单位：
- 中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
- 起草人：
- 刘新军、刘英杰、郑华荣、柯尊斌、赵建为、孔令群、伍永胜、张云晖、杨红燕
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
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