YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
YS/T 1059-2015 Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
行业标准
中文简体
现行
页数:12页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
YS/T 1059-2015
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
H17 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
国际标准分类号(ICS)
77.040.30
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
2015-10
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研制信息
- 起草单位:
- 中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司
- 起草人:
- 刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅
- 出版信息:
- 页数:12页 | 字数:12 千字 | 开本: 大16开
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