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GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定　电感耦合等离子体质谱法

GB/T 37049-2018 Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 37049-2018
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定　电感耦合等离子体质谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040.30
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-04-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会（SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定　电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定　电感耦合等离子体质谱法
GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定　电感耦合等离子体质谱法
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研制信息

起草单位：
江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有研半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司
起草人：
鲁文锋、刘晓霞、秦榕、孙燕、赵而敬、王桃霞、赵玉、王忠慧、柳德发、张园园、银波、邱艳梅、刘强
出版信息：
页数：12页 | 字数：11 千字 | 开本： 大16开

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