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GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

GB/T 37053-2018 General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 37053-2018
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H83 氮化镓外延片及衬底片通用规范
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
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研制信息

起草单位：
东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院
起草人：
丁晓民、刘南柳、潘尧波、徐科、修向前、孙永健、王香、张国义
出版信息：
页数：16页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开

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