关闭预览GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
GB/T 32814-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 32814-2016
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2017-03
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 西北工业大学、中机生产力促进中心
- 起草人：
- 苑伟政、谢建兵、李海斌、乔大勇、马志波、常洪龙、刘伟
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- YS/T 569.6-2015 铊化学分析方法 第6部分：铅量的测定 双硫腙苯萃取分光光度法 2015-04-30
- GB/T 14598.19-2007 电气继电器 第22-7部分：量度继电器和保护装置的电气骚扰试验——工频抗扰度试验 2007-01-23
- GB/T 11828.1-2019 水位测量仪器 第1部分：浮子式水位计 2019-06-04
- GB/T 20975.5-2008 铝及铝合金化学分析方法 第5部分：硅含量的测定 2008-03-31
- GB/T 31149-2014 汽车物流服务评价指标 2014-09-03
- GB/T 7730.3-1997 锰铁化学分析方法 磷量的测定 1997-11-11
- JJF 1104-2003 国家计量检定系统表编写规则 2003-05-12
- GB/T 22046-2008 地理标志产品 洋河大曲酒 2008-06-25
- GB/T 24271-2009 热双金属条形元件技术条件 2009-06-19
- GB/T 6046-2007 指针式石英钟 2007-12-05
相似标准推荐
更多>- 1 GB 1208-2006 电流互感器
- 2 GB/T 4772.2-1999 旋转电机尺寸和输出功率等级 第2部分：机座号355～1000和凸缘号1180～2360
- 3 LY/T 3063-2018 干旱荒漠区樟子松育苗技术规程
- 4 GB 10133-2005 水产调味品卫生标准
- 5 GB/T 18916.55-2021 取水定额 第55部分：皮革
- 6 GB/T 30104.210-2013 数字可寻址照明接口 第210部分：控制装置的特殊要求 程序装置(设备类型9)
- 7 GB 46034-2025 公众聚集场所投入使用营业消防安全检查规则
- 8 GB/T 23980-2009 直接染料 拔染性的测定
- 9 GB/T 41196-2021 公共信用信息公示通则
- 10 GB/T 17006.9-2003 医用成像部门的评价及例行试验 第2-10部分：稳定性试验 乳腺X射线摄影设备
