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GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术　基于SOI硅片的MEMS工艺规范

GB/T 32814-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 32814-2016
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 硅基MEMS制造技术　基于SOI硅片的MEMS工艺规范
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术　基于SOI硅片的MEMS工艺规范
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研制信息

起草单位：
西北工业大学、中机生产力促进中心
起草人：
苑伟政、谢建兵、李海斌、乔大勇、马志波、常洪龙、刘伟
出版信息：
页数：16页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开

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