关闭预览GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
GB/T 32814-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 32814-2016
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2017-03
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 西北工业大学、中机生产力促进中心
- 起草人：
- 苑伟政、谢建兵、李海斌、乔大勇、马志波、常洪龙、刘伟
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 44889-2024 机关运行成本统计指南 2024-11-28
- YS/T 820.9-2012 红土镍矿化学分析方法 第9部分:钪、镉量的测定 电感耦合等离子体-质谱法 2012-11-07
- GB/T 16857.8-2022 产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第8部分：使用光学距离传感器的坐标测量机 2022-12-30
- YY/T 1027-2018 牙科学 水胶体印模材料 2018-06-14
- GB/T 13827-1992 烧结奥氏体不锈钢结构零件技术条件 1992-11-05
- GB 17675-2021 汽车转向系 基本要求 2021-02-20
- GB/T 37042-2018 六亚甲基二异氰酸酯 2018-12-28
- GB/T 29991-2013 香粉(蜜粉) 2013-11-27
- GB/T 19701.3-2024 外科植入物 超高分子量聚乙烯 第3部分：加速老化方法 2024-11-28
- TD/T 1035-2013 县级土地整治规划编制规程 2013-01-23
相似标准推荐
更多>- 1 FZ/T 52028-2013 相变保温粘胶短纤维
- 2 FZ/T 12073-2022 转杯纺涤纶本色纱
- 3 GB/T 20268-2006 车载导航地理数据采集处理技术规程
- 4 GB/T 23891.1-2009 滑动轴承 稳态条件下流体动压瓦块止推轴承 第1部分：瓦块止推轴承的计算
- 5 GB/T 41743-2022 真空玻璃保温性能及其衰减快速检测评估方法 非稳态法
- 6 GB/T 21169-2007 蜂蜜中双甲脒及其代谢物残留量测定 液相色谱法
- 7 YS/T 1085-2015 精炼镍 硅、锰、磷、铁、铜、钴、镁、铝、锌、铬含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
- 8 GB/T 20859-2007 包装 袋 满装袋摩擦力的测定
- 9 GB 17930-2011 车用汽油
- 10 GB/T 223.11-1991 钢铁及合金化学分析方法 过硫酸铵氧化容量法测定铬量
