关闭预览GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
GB/T 32817-2016 Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS
国家标准
中文简体
现行
页数：24页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 32817-2016
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
国际标准分类号（ICS）
31.080.99
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2017-03
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研制信息
- 起草单位：
- 中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学
- 起草人：
- 李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲
- 出版信息：
- 页数：24页 | 字数：34 千字 | 开本： 大16开
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