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GB/T 32817-2016 半导体器件　微机电器件　MEMS总规范

GB/T 32817-2016 Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

国家标准 中文简体 现行 页数：24页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 32817-2016
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 半导体器件　微机电器件　MEMS总规范
国际标准分类号（ICS）
31.080.99
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 32817-2016 半导体器件　微机电器件　MEMS总规范
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研制信息

起草单位：
中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学
起草人：
李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲
出版信息：
页数：24页 | 字数：34 千字 | 开本： 大16开

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