关闭预览GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
GB/T 32815-2016 Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process
国家标准
中文简体
现行
页数：28页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 32815-2016
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2016-08-29
实施日期
2017-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2017-03
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司
- 起草人：
- 张大成、王玮、李海斌、杨芳、黄贤、何军、刘冲、刘伟、周再发、刘军山、李婷、姜博岩
- 出版信息：
- 页数：28页 | 字数：42 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 18916.63-2022 取水定额 第63部分：平板玻璃 2022-10-12
- GB/T 6015-1999 工业用丁二烯中微量二聚物的测定 气相色谱法 1999-08-10
- GB/T 38218-2019 火力发电企业能源管理体系实施指南 2019-10-18
- FZ/T 92063.3-2021 纺织纸管机械与附件 第3部分：纸管整理联合机 2021-04-19
- GB/T 11034-1989 船用电动往复泵 1988-11-25
- GB/T 18622-2002 温室结构设计荷载 2002-01-16
- GB 17869-1999 潜水员水下用电安全操作规程 1999-09-17
- GB/T 15076.7-2020 钽铌化学分析方法 第7部分：铌中磷量的测定 4-甲基-戊酮-[2]萃取分离磷钼蓝分光光度法和电感耦合等离子体原子发射光谱法 2020-03-06
- GB/T 18037-2000 带电作业工具基本技术要求与设计导则 2000-04-03
- GB/T 36373.1-2018 特种设备信息资源管理 数据元规范 第1部分：气瓶 2018-06-07
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 406-2008 棉本色布
- 2 SC/T 3211-2002 盐渍裙带菜
- 3 GB/T 38788-2020 猪多能干细胞建系技术规范
- 4 GB/T 4376-1994 半导体集成电路 电压调整器系列和品种
- 5 GB/T 9048-1988 65mm和70mm电影摄影机片窗所形成的影像和70mm电影拷贝最大可放映画面的位置和尺寸
- 6 GB/T 46241-2025 风能发电系统 风力发电机组机舱风速传递函数测量
- 7 GB/T 36474-2018 半导体集成电路 第三代双倍数据速率同步动态随机存储器(DDR3 SDRAM)测试方法
- 8 GB/T 6370-2012 表面活性剂 阴离子表面活性剂 水中溶解度的测定
- 9 JG/T 571-2019 玻纤增强聚氨酯节能门窗
- 10 JJF 1370-2012 正弦法力传感器动态特性校准规范
