关闭预览GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
GB/T 28274-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—The basic regulation of layout design
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 28274-2012
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2012-12
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学
- 起草人：
- 张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、乔大勇
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 40550-2021 劳动人事争议仲裁术语 2021-08-20
- GB/T 19421.3-2003 层状结晶二硅酸钠试验方法 pH值的测定 2003-12-11
- GB/T 19583-2004 涉外收支交易分类与代码 2004-09-13
- GB/T 8190.6-2022 往复式内燃机 排放测量 第6部分：测量结果和试验报告 2022-10-12
- GB/T 17303.2-2010 发票报文 第2部分：国际贸易商业发票报文 2010-09-02
- GB/T 31710.4-2015 休闲露营地建设与服务规范 第4部分：青少年营地 2015-10-13
- GB/Z 18975.4-2023 工业自动化系统与集成 流程工厂(包括石油和天然气生产设施)生命周期数据集成 第4部分：初始参考数据 2023-09-07
- GB/T 23776-2009 茶叶感官审评方法 2009-05-12
- WS 216-2001 登革热诊断标准及处理原则 2001-11-23
- GB/T 17658-2018 阻燃木材燃烧性能试验 火传播试验方法 2018-09-17
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 5170.5-1996 电工电子产品环境试验设备基本参数检定方法 湿热试验设备
- 2 GB/T 37433-2019 低功率燃油燃烧器通用技术要求
- 3 GB 21139-2007 基础地理信息标准数据基本规定
- 4 SB/T 10538-2009 文物艺术品拍卖规程
- 5 GB/T 38544-2020 行政许可申请与受理规范
- 6 GB/T 5170.21-2008 电工电子产品环境试验设备基本参数检验方法 振动(随机)试验用液压振动台
- 7 GB/T 20249-2006 声学 聚焦超声换能器发射场特性的定义与测量方法
- 8 GA/T 816-2019 警用阻截网
- 9 FZ/T 50058-2022 合成纤维 双组份复合长丝弹性性能试验方法
- 10 GB/T 31529-2015 数字印刷材料 计算机直接制版(CTP)版材 感光层单位面积质量的测定
