关闭预览GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
GB/T 28274-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—The basic regulation of layout design
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 28274-2012
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-
发布历史
-
2012-12
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学
- 起草人：
- 张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、乔大勇
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- JJF 1973-2022 移动生物检测实验舱性能参数校准规范 2022-06-28
- JJF 1261.10-2013 家用和类似用途微波炉能源效率标识计量检测规则 2013-08-15
- GB/T 3739.1-1983 卡套式锥螺纹直角管接头 1983-06-17
- GB/T 39955-2021 增材制造 材料 粉末床熔融用尼龙12及其复合粉末 2021-03-09
- NY 5097-2002 无公害食品 双孢蘑菇 2002-07-25
- LY/T 2859-2017 对伞花烃 2017-06-05
- SC/T 8061-2001 玻璃钢渔船船体制图 2001-06-01
- GB/T 18115.1-2000 稀土氧化物化学分析方法 电感耦合等离子体发射光谱法测定氧化镧中氧化铈、氧化镨、氧化钕、氧化钐、氧化铕、氧化钆、氧化铽、氧化镝、氧化钬、氧化铒、氧化铥、氧化镱、氧化镥和氧化钇量 2000-06-05
- FZ/T 54066-2013 阳离子染料可染改性涤纶预取向丝 2013-10-17
- GB/T 15224.2-2004 煤炭质量分级 第2部分：硫分 2004-04-30
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 12786-2021 自动化内燃机电站通用技术条件
- 2 GB/T 28616-2012 绿色制造属性 机械产品
- 3 WS/T 199-2001 公共场所卫生综合评价方法
- 4 GB/T 10856-2006 双涡轮液力变矩器 技术条件
- 5 GB 19153-2019 容积式空气压缩机能效限定值及能效等级
- 6 FZ/T 54131-2021 弹性涤纶牵伸丝/涤纶预取向丝空气变形丝(EDY/POY ATY)
- 7 GB/T 22334-2008 动物射频识别 技术准则
- 8 JJF 1773-2019 综合验光仪型式评价大纲
- 9 YS/T 609-2006 铂电极浆料
- 10 GB/T 6910-2006 锅炉用水和冷却水分析方法 钙的测定 络合滴定法
