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GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术　微键合区剪切和拉压强度检测方法

GB/T 28277-2012 Silicon-based MEMS fabrication technology—Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area

国家标准 中文简体 现行 页数：24页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 28277-2012
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55 硅基MEMS制造技术　微键合区剪切和拉压强度检测方法
国际标准分类号（ICS）
31.200
发布日期
2012-05-11
实施日期
2012-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术　微键合区剪切和拉压强度检测方法
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研制信息

起草单位：
北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、中国电子科技集团第四十九研究所
起草人：
张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、田雷
出版信息：
页数：24页 | 字数：33 千字 | 开本： 大16开

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