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GB/T 15909-2017 电子工业用气体　硅烷

GB/T 15909-2017 Gas for electronic industry—Silane

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 15909-2017
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用气体　硅烷
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2017-05-31
实施日期
2017-12-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 15909-2017 电子工业用气体　硅烷
GB/T 15909-2017 电子工业用气体　硅烷
GB/T 15909-2017 电子工业用气体　硅烷
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研制信息

起草单位：
西南化工研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心、江苏中能硅业科技发展有限公司、浙江中宁硅业有限公司、南京亚格泰新能源材料有限公司、浙江大学、安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司
起草人：
余京松、杨智敏、傅铸红、杜汉盛、孙福楠、牛艳东、李长富、周朋云、曲庆、方华、陈鹰、常侠、刘晓霞、周延江、高平洲、徐昕
出版信息：
页数：16页 | 字数：20 千字 | 开本： 大16开

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