关闭预览GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
GB/T 15909-1995 Gas for electronic industry—Silane
国家标准
中文简体
被代替
页数：12页
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格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 15909-1995
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
1995-12-20
实施日期
1996-08-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
化学工业部西南化工研究院
适用范围
-
发布历史
-
1996-08
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研制信息
- 起草单位：
- 化学工业部西南化工研究院、浙江大学材料系、中科院半导体研究所
- 起草人：
- 余京松、佘中玉
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：13 千字 | 开本： 大16开
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