关闭预览GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
GB/T 15909-2009 Gas for electronic industry—Silane
国家标准
中文简体
被代替
页数：12页
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格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 15909-2009
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
适用范围
-
发布历史
-
1996-08
-
2010-05
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研制信息
- 起草单位：
- 浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院
- 起草人：
- 余京松、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
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