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GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

GB/T 15871-1995 Hard surface photomask substrates

国家标准中文简体现行页数：16页 | 格式：PDF

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基本信息

标准号

GB/T 15871-1995

相关服务

仅限个人学习交流使用

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

L97 硬面光掩模基板

国际标准分类号（ICS）

31.030

发布日期

1995-12-22

实施日期

1996-08-01

发布单位/组织

国家技术监督局

归口单位

电子工业部标准化研究所

适用范围

-

发布历史

1996-08

GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

当前标准现行 1996-08-01

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GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

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研制信息

起草单位：: 长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所

起草人：: 吴保华、王亦林、赵雨生、谈仁良

出版信息：: 页数：16页 | 字数：19 千字 | 开本：大16开

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