关闭预览GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
GB/T 15871-1995 Hard surface photomask substrates
国家标准
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现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 15871-1995
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L97 硬面光掩模基板
国际标准分类号（ICS）
31.030
发布日期
1995-12-22
实施日期
1996-08-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
电子工业部标准化研究所
适用范围
-
发布历史
-
1996-08
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研制信息
- 起草单位：
- 长沙韶光微电子总公司、电子工业部标准化研究所
- 起草人：
- 吴保华、王亦林、赵雨生、谈仁良
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
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