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GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口

GB/T 15872-2013 Power supply interface for semiconductor equipment

国家标准 中文简体 现行 页数:12页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 15872-2013
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
L23 半导体设备电源接口
国际标准分类号(ICS)
31.220.10
发布日期
2013-12-17
实施日期
2014-05-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口
GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口
GB/T 15872-2013 半导体设备电源接口
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研制信息

起草单位:
中国人民解放军空军雷达学院、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人:
朱忠尼、亓迎川、梅昌义、祁承超、陶雪峰、黄英华、钱砺、曹玲
出版信息:
页数:12页 | 字数:10 千字 | 开本: 大16开