关闭预览GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
GB/T 14146-2021 Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 14146-2021
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
1993-10
-
2010-06
-
2021-12
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研制信息
- 起草单位：
- 南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中电晶华(天津)半导体材料有限公司、有研半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、无锡华润上华科技有限公司、义乌力迈新材料有限公司
- 起草人：
- 骆红、潘文宾、杨素心、赵扬、赵而敬、张佳磊、李慎重、黄黎、严琴、黄宇程、皮坤林
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：24 千字 | 开本： 大16开
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