关闭预览GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
GB/T 13388-2009 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 13388-2009
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1992-10
-
2010-06
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 有研半导体材料股份有限公司
- 起草人：
- 孙燕、卢立延、杜娟、翟富义、高玉锈
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 12659-2008 纸浆 实验室打浆 约克罗(Jokro)磨法 2008-08-19
- GB/T 5898-2008 手持式非电类动力工具 噪声测量方法 工程法(2级) 2008-07-09
- GB/T 17593.3-2006 纺织品 重金属的测定 第3部分：六价铬 分光光度法 2006-05-25
- GB/T 25020.4-2010 电气化铁路接触网钢支柱 第4部分：H形支柱 2010-09-02
- CJ/T 473-2015 排水管道闭气检验用板式密封管堵 2015-03-04
- GB 14048.6-2008 低压开关设备和控制设备 第4-2部分：接触器和电动机起动器 交流半导体电动机控制器和起动器(含软起动器) 2008-03-24
- GB/T 744-2004 纸浆 抗碱性的测定 2004-03-15
- GB/T 44388-2024 空间环境 热等离子体原位探测载荷实验室定标方法 2024-08-23
- GB/T 223.78-2000 钢铁及合金化学分析方法 姜黄素直接光度法测定硼含量 2000-10-25
- GB/T 9445-2015 无损检测 人员资格鉴定与认证 2015-12-10
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 21481.2-2008 船舶与海上技术 船舶和海上结构物上生活用水供应 第2部分：计算方法
- 2 GB 21251-2014 镍冶炼企业单位产品能源消耗限额
- 3 GB/T 6002.14-2003 纺织机械术语 第14部分：卷绕 基本术语
- 4 YS/T 583-2016 热锻水暖管件用黄铜棒
- 5 GB/T 36867-2018 粮食钢罩棚设计规范
- 6 GB/T 45572-2025 航空航天用带肋十字槽
- 7 GB/T 308.2-2010 滚动轴承 球 第2部分：陶瓷球
- 8 GA 1026-2022 机动车驾驶人考试内容和方法
- 9 GB/T 35381.7-2017 农林拖拉机和机械 串行控制和通信数据网络 第7部分：机具消息应用层
- 10 GB/T 43681-2024 生态系统评估 区域生态系统调查方法
