关闭预览GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
GB/T 13388-2009 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 13388-2009
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1992-10
-
2010-06
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研制信息
- 起草单位：
- 有研半导体材料股份有限公司
- 起草人：
- 孙燕、卢立延、杜娟、翟富义、高玉锈
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：17 千字 | 开本： 大16开
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