关闭预览GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
GB/T 13388-1992 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
国家标准
中文简体
被代替
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 13388-1992
相关服务
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标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H21 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
国际标准分类号（ICS）
29.040.30
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
适用范围
-
发布历史
-
1992-10
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研制信息
- 起草单位：
- 北京有色金属研究总院
- 起草人：
- 高玉
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：7 千字 | 开本： 大16开
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