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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-2016 Test methods for edge contour of silicon wafers

行业标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 26-2016
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 硅片边缘轮廓检验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-

发布历史

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YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
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研制信息

起草单位：
洛阳单晶硅集团有限责任公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
起草人：
田素霞、李战国、苗利刚、焦二强、安瑞阳、邵成波、王文卫
出版信息：
页数：12页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开

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