关闭预览YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
YS/T 26-2016 Test methods for edge contour of silicon wafers
行业标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 26-2016
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 硅片边缘轮廓检验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
1993-01
-
2017-01
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 洛阳单晶硅集团有限责任公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
- 起草人：
- 田素霞、李战国、苗利刚、焦二强、安瑞阳、邵成波、王文卫
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱 2013-12-31
- GB/T 6516-2010 电解镍 2011-01-10
- FZ/T 01124-2014 纺织品 抗酸碱溶液渗透性能试验方法 2014-12-24
- GB/T 13247-1991 铁合金产品粒度的取样和检测方法 1991-11-06
- GB/T 23559-2009 服装名称代码编制规范 2009-03-13
- GB/T 8188-2003 内燃机 排放术语和定义 2003-05-19
- SH/T 0676-1999 TC-W Ⅱ 水冷二冲程汽油机油 1999-09-01
- GA 1277.3-2020 互联网交互式服务安全管理要求 第3部分：音视频聊天室服务 2020-01-10
- GB/T 28046.5-2013 道路车辆 电气及电子设备的环境条件和试验 第5部分：化学负荷 2013-11-12
- GB/T 4698.15-2011 海绵钛、钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定 2011-05-12
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 19939-2005 光伏系统并网技术要求
- 2 GB/T 22383-2008 额定电压72.5 kV及以上刚性气体绝缘输电线路
- 3 GB/T 10565-1989 硬质合金量规毛坯
- 4 GB/T 15079.7-1994 钼精矿化学分析方法 钙量的测定
- 5 GB/T 16649.4-2010 识别卡 集成电路卡 第4部分：用于交换的结构、安全和命令
- 6 GB/T 22294-2008 粮油检验 大米胶稠度的测定
- 7 GB/T 24677.1-2009 喷杆喷雾机 技术条件
- 8 GB/T 3758.1-1983 卡套式锥螺纹对接直角管接头
- 9 GB/T 4301-1992 船用电磁计程仪通用技术条件
- 10 GB/T 21054-2007 信息安全技术 公钥基础设施 PKI系统安全等级保护评估准则
