关闭预览YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法
YS/T 26-2016 Test methods for edge contour of silicon wafers
行业标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 26-2016
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 硅片边缘轮廓检验方法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
1993-01
-
2017-01
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研制信息
- 起草单位：
- 洛阳单晶硅集团有限责任公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
- 起草人：
- 田素霞、李战国、苗利刚、焦二强、安瑞阳、邵成波、王文卫
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开
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