关闭预览YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法
YS/T 26-1992
行业标准
中文简体
被代替
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 26-1992
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H21 硅片边缘轮廓检验方法
国际标准分类号（ICS）
发布日期
1992-03-09
实施日期
1993-01-01
发布单位/组织
中国有色金属工业总公司
归口单位
适用范围
-
发布历史
-
1993-01
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研制信息
- 起草单位：
- 洛阳单晶硅厂
- 起草人：
- 王从赞、夏光勤
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
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