关闭预览YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
YS/T 1031-2015 Chemical vapor deposition furnace
行业标准
中文简体
现行
页数：12页
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格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1031-2015
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
行业标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H91 化学气相沉积炉
国际标准分类号（ICS）
77.180
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
-
发布历史
-
2015-10
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研制信息
- 起草单位：
- 湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
- 起草人：
- 戴煜、胡祥龙、胡高健、羊建高、马卫东、戴晓蕾、周岳兵、吴艳华
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
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