关闭预览GB/T 44375-2024 300 mm半导体设备装载端口要求
GB/T 44375-2024 Requirements for load ports of 300 mm semiconductor equipment
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 44375-2024
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L97 300 mm半导体设备装载端口要求
国际标准分类号（ICS）
31.260
发布日期
2024-08-23
实施日期
2025-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2025-03
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研制信息
- 起草单位：
- 上海微电子装备(集团)股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、深圳市埃芯半导体科技有限公司、苏州镁伽科技有限公司、中电鹏程智能装备有限公司
- 起草人：
- 胡松立、李运锋、吴怡然、曹可慰、赵俊莎、周晓锋、李殿浦、武小娟、朱明、李英、张宝帅、洪峰、张志勇、乔志新、王鸣昕
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
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