关闭预览GB/T 44375-2024 300 mm半导体设备装载端口要求
GB/T 44375-2024 Requirements for load ports of 300 mm semiconductor equipment
国家标准
中文简体
现行
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 44375-2024
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L97 300 mm半导体设备装载端口要求
国际标准分类号（ICS）
31.260
发布日期
2024-08-23
实施日期
2025-03-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2025-03
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 上海微电子装备(集团)股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、深圳市埃芯半导体科技有限公司、苏州镁伽科技有限公司、中电鹏程智能装备有限公司
- 起草人：
- 胡松立、李运锋、吴怡然、曹可慰、赵俊莎、周晓锋、李殿浦、武小娟、朱明、李英、张宝帅、洪峰、张志勇、乔志新、王鸣昕
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- SB/T 10957-2012 被类商品验收规范 2013-01-23
- GB/T 10760.1-2003 离网型风力发电机组用发电机 第1部分：技术条件 2003-04-15
- GB/T 22479-2008 花椒籽油 2008-11-04
- HY/T 042-1996 海洋仪器分类及型号命名办法 1996-09-28
- GB/T 24179-2023 金属材料 残余应力测定 压痕应变法 2023-08-06
- GB/T 42778-2023 无土草毯 2023-05-23
- GB/T 17964-2008 信息安全技术 分组密码算法的工作模式 2008-06-26
- GB/T 3179-2009 期刊编排格式 2009-09-30
- GB/T 30193-2013 工程机械轮胎耐久性试验方法 2013-12-31
- GB/T 16554-2017 钻石分级 2017-10-14
相似标准推荐
更多>- 1 YS/T 648-2007 铜碲合金棒
- 2 GB/T 7810-1995 滚动轴承 带座外球面球轴承外形尺寸
- 3 GB/T 14263-1993 散装浮选铜精矿取样、制样方法
- 4 GB/T 32371.1-2015 低溶剂型或无溶剂型胶粘剂涂敷后释放特性的短期测量方法 第1部分:通则
- 5 GB/T 45422-2025 化学品 地表水系统-沉积物中泥鳅毒性试验
- 6 GA/T 1008.3-2013 常见毒品的气相色谱、气相色谱-质谱检验方法 第3部分：大麻中三种成分
- 7 GB/T 25313-2010 焊接设备电磁场检测与评估准则
- 8 GB/T 22696.1-2008 电气设备的安全 风险评估和风险降低 第1部分：总则
- 9 GB/T 5211.11-2008 颜料水溶硫酸盐、氯化物和硝酸盐的测定
- 10 GBZ(卫生) 241-2012 放射性心脏损伤诊断
