齐齐文库
登录
齐齐文库
下载此文档
关闭预览
  1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 中国国家标准 >
  4. GB/T 42274-2022

GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定　二次离子质谱法

GB/T 42274-2022 Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium,gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 42274-2022
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定　二次离子质谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-04-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC2)
适用范围
-

发布历史

文前页预览

GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定　二次离子质谱法
GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定　二次离子质谱法
GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定　二次离子质谱法
免费预览已结束，剩余部分可下载查看

研制信息

起草单位：
北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司
起草人：
齐俊杰、魏学成、闫丹、李素青、卫喆、胡超胜、李志超、许磊、王军喜、李晋闽、魏明、刘江华、张成荣
出版信息：
页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

推荐标准

相似标准推荐

更多>