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GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定　离子色谱法

GB/T 42276-2022 Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 42276-2022
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定　离子色谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2022-12-30
实施日期
2023-04-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定　离子色谱法
GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定　离子色谱法
GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定　离子色谱法
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研制信息

起草单位：
新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司
起草人：
银波、邱艳梅、刘国霞、黄彬、李素青、张吉武、宋炳信、鲁文锋、王港、李玫、张正霞、吴英良、侯倩慧、王晓娇、曹家凯、高裕昆、崔巍
出版信息：
页数：12页 | 字数：16 千字 | 开本： 大16开

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