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GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

GB/T 40577-2021 Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment

国家标准 中文简体 现行 页数：60页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 40577-2021
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L95 集成电路制造设备术语
国际标准分类号（ICS）
31.220
发布日期
2021-10-11
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语
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研制信息

起草单位：
中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司
起草人：
张军华、冯亚彬、曹可慰、曹建伟、裴会川、朱亮、周哲、武小娟、杜若昕、唐彩红、丁晓民、傅林坚、魏唯、田涛、刘英斌、李国平、王宏智
出版信息：
页数：60页 | 字数：110 千字 | 开本： 大16开

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