关闭预览GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
GB/T 4058-2009 Test method for detection of oxidation induced defects in polished silicon wafers
国家标准
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 4058-2009
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H80 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-06-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
适用范围
-
发布历史
-
1995-12
-
2010-06
文前页预览
免费预览已结束，剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位：
- 峨嵋半导体材料厂
- 起草人：
- 何兰英、王炎、张辉坚、刘阳
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：33 千字 | 开本： 大16开
推荐标准
- GH/T 1483-2024 绵羊绒交易技术规范 2024-12-17
- NY/T 748-2003 绿色食品 豆类蔬菜 2003-12-01
- GB/T 6113.104-2016 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第1-4部分：无线电骚扰和抗扰度测量设备 辐射骚扰测量用天线和试验场地 2016-04-25
- GB/T 3452.2-2007 液压气动用O形橡胶密封圈 第2部分：外观质量检验规范 2007-09-26
- GB/T 28583-2012 供电服务规范 2012-06-29
- GB/T 5708-2001 纺织品 针织物 术语 2001-02-26
- GB/T 14849.4-2014 工业硅化学分析方法 第4部分：杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 2014-12-05
- GB/T 9739-1988 化学试剂 铁测定通用方法 1988-09-05
- GBZ(卫生) 239-2011 职业性急性氯乙酸中毒的诊断 2011-04-21
- GB/Z 6113.3-2019 无线电骚扰和抗扰度测量设备和测量方法规范 第3部分：无线电骚扰和抗扰度测量技术报告 2019-08-30
相似标准推荐
更多>- 1 GB 4789.28-2024 食品安全国家标准 食品微生物学检验 培养基和试剂的质量要求
- 2 GB/T 25290-2010 Y3系列(IP55)三相异步电动机技术条件(机座号63～355)
- 3 YY/T 1522-2017 连接到医用气体管道系统终端的流量测量装置
- 4 GB 13296-2007 锅炉、热交换器用不锈钢无缝钢管
- 5 YS/T 883-2013 锌精矿焙砂
- 6 GB/T 18204.3-2013 公共场所卫生检验方法 第3部分：空气微生物
- 7 GB/T 5638-2008 扩口式组合三通管接头
- 8 GB/T 25020.2-2010 电气化铁路接触网钢支柱 第2部分：方形钢管支柱
- 9 GB/T 12665-1990 电机在一般环境条件下使用的湿热试验要求
- 10 GB/T 45682-2025 矿用高压辊磨机选型试验方法
