GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷
GB/T 38866-2020 Dichlorosilane for electronic industry
国家标准
中文简体
现行
页数:16页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB/T 38866-2020
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
G86 电子工业用二氯硅烷
国际标准分类号(ICS)
71.100.20
发布日期
2020-07-21
实施日期
2021-02-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-
发布历史
-
2021-02
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研制信息
- 起草单位:
- 湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司
- 起草人:
- 丰雷、叶家爱、龚瑞、杨剑、刘畅、万烨、张园园、王春英、戴帅、谢秋琪、袁乐、傅铸红、禹金龙、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、李威、方艾黎、谭依玲
- 出版信息:
- 页数:16页 | 字数:21 千字 | 开本: 大16开
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