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GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅

GB/T 38867-2020 Silicon tetrachloride for electronic industry

国家标准 中文简体 现行 页数：16页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 38867-2020
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G86 电子工业用四氯化硅
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2020-07-21
实施日期
2021-02-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅
GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅
GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅
GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅
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研制信息

起草单位：
湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、 随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司
起草人：
徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭、王春英、戴帅、张竞、黄国菲、廖恒易、陈艳珊、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、徐龙、赵帅德、唐霞梅
出版信息：
页数：16页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开

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