关闭预览GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
GB/T 34504-2017 Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
国家标准
中文简体
被代替
页数：16页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 34504-2017
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
被代替
中国标准分类号（CCS）
H17 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2017-10-14
实施日期
2018-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-
发布历史
-
2018-05
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研制信息
- 起草单位：
- 天通控股股份有限公司
- 起草人：
- 康森、宋岩岩、邵峰、沈瞿欢、於震杰
- 出版信息：
- 页数：16页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
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