齐齐文库
登录
齐齐文库
下载此文档
关闭预览
  1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 中国国家标准 >
  4. GB/T 32281-2015

GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定　二次离子质谱法

GB/T 32281-2015 Test method for measuring oxygen,carbon,boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock—Secondary ion mass spectrometry

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 32281-2015
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H17 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定　二次离子质谱法
国际标准分类号（ICS）
77.040.30
发布日期
2015-12-10
实施日期
2017-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

文前页预览

GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定　二次离子质谱法
GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定　二次离子质谱法
GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定　二次离子质谱法
免费预览已结束，剩余部分可下载查看

研制信息

起草单位：
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司
起草人：
薛抗美、夏根平、肖宗杰、盛之林、范占军、蒋建国、林清香、徐自亮、王泽林、宋高杰、刘国霞
出版信息：
页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

推荐标准

相似标准推荐

更多>