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GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

GB/T 32188-2015 Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 32188-2015
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H21 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2015-12-10
实施日期
2016-11-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
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研制信息

起草单位：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司
起草人：
邱永鑫、任国强、刘争晖、曾雄辉、王建峰、陈小龙、王文军、郑红军、徐科、赵松彬
出版信息：
页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开

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