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GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

GB/T 31470-2015 Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 31470-2015
相关服务
  仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
N26 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
国际标准分类号（ICS）
17.220.20
发布日期
2015-05-15
实施日期
2016-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
-

发布历史

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GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
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研制信息

起草单位：
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人：
李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔
出版信息：
页数：12页 | 字数：18 千字 | 开本： 大16开

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