GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
GB/T 31225-2014 Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer
国家标准
中文简体
现行
页数:12页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
GB/T 31225-2014
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
J04 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
国际标准分类号(ICS)
17.040.01
发布日期
2014-09-30
实施日期
2015-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
适用范围
-
发布历史
-
2015-04
文前页预览
免费预览已结束,剩余部分可下载查看
研制信息
- 起草单位:
- 上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
- 起草人:
- 金承钰、李威、梁齐、路庆华、何丹农、张冰
- 出版信息:
- 页数:12页 | 字数:14 千字 | 开本: 大16开
推荐标准
- GB/T 23444-2024 金属及金属复合材料吊顶板 2024-10-26
- GB 19855-2005 月饼 2005-09-02
- GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法 2022-12-30
- GB/T 43220-2023 固体生物质燃料中砷的测定方法 2023-09-07
- LY/T 3033-2018 户外用木材涂料人工老化试验方法 2018-12-29
- GB/T 15036.2-2001 实木地板 检验和试验方法 2001-11-12
- GB 12260-2017 心肺转流系统 滚压式血泵 2017-12-29
- GB/T 6509-1986 锦纶 6 中低分子物含量测定方法 1986-06-18
- GB/T 17911.6-1999 耐火陶瓷纤维制品 渣球含量试验方法 1999-11-23
- GB 25325-2014 铝电解用预焙阳极单位产品能源消耗限额 2014-12-05
相似标准推荐
更多>- 1 GB/T 5716-1997 纺织品 色牢度试验 耐碱斑色牢度
- 2 SC/T 7003-1999 垂直回声探鱼仪通用技术条件
- 3 GB/T 17532-2005 术语工作 计算机应用 词汇
- 4 GB/T 14536.12-2010 家用和类似用途电自动控制器 能量调节器的特殊要求
- 5 GB/T 17795-1999 建筑绝热用玻璃棉制品
- 6 YS/T 885-2013 钛及钛合金锻造板坯
- 7 GB/T 1981.6-2014 电气绝缘用漆 第6部分:环保型水性浸渍漆
- 8 GB/T 31710.1-2015 休闲露营地建设与服务规范 第1部分:导则
- 9 GB 31335-2024 铁矿开采和选矿单位产品能源消耗限额
- 10 GB/T 45093-2024 水禽新型星状病毒病诊断技术

关闭预览
