关闭预览GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
GB/T 31225-2014 Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 31225-2014
相关服务
仅限个人学习交流使用
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
J04 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
国际标准分类号（ICS）
17.040.01
发布日期
2014-09-30
实施日期
2015-04-15
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)
适用范围
-
发布历史
-
2015-04
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研制信息
- 起草单位：
- 上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
- 起草人：
- 金承钰、李威、梁齐、路庆华、何丹农、张冰
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
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